控制面板

蒸汽压力、ALD以及气体流量参数均可通过一-6英寸接触屏由PLC进行控

两个ALD进气阀
一个精密的4通道质子流量计系统

ALD进气阀

两个ALD脉冲电磁阀(最小可在10ms完成阀[门的开启或关闭)

精密液体气相发生器

精密液体气相发生器包含在本系统中并且连接到ALD进气阀

连续工作的最高温度为1100°C
两个温区由两个独立的温控系统来控制,而且都为PID30段程序化控温

输入电压: 208-240V AC ,单向

旋转管式炉
最大功率为4KW

炉管旋转速度: 0-10rpm

更多可选配件

可选购气液混合装置,用于CVD系统
可选购恒温控制模块
可选购金石英测试晶体以及热电偶用于薄膜厚度以及温度的测试

质保期
一年保质期,终身维护(不包含炉管,加热元件和密封圈)

质量认证
所有电器元件( > 24V )均满足CE/UL/MET/CSA认证如您另付费用,我们可保证单台仪器通过TUV ( UL61010 )或CSA认证

注意事项
炉管内气压不可高于0.02MPa
由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
当炉体温度高于1000°C时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
进入炉管的气体流量需小于200SCCM ,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

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