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Technical parameters
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Accessory Details
产品型号
TFMS-IV系列紧凑型高精度反射膜厚仪
主要特点
1、光学薄膜测量解决方案
2、非接触、非破坏测量
3、覆盖单层到多层薄膜
4、核心算法覆盖薄膜到厚膜
5、配置灵活、支持定制化
6、采用高强度卤素灯光源，光谱覆盖可见光到近红外范围
7、采用光机电高度整合- 体化设计，体积小，操作简便
8、基于薄膜层上界面与下界面的反射光相干涉原理,轻松解析单层薄膜到多层，
TFMS-IV系列紧凑型高精度反射膜厚仪
主要特点
1、光学薄膜测量解决方案
2、非接触、非破坏测量
3、覆盖单层到多层薄膜
4、核心算法覆盖薄膜到厚膜
5、配置灵活、支持定制化
6、采用高强度卤素灯光源，光谱覆盖可见光到近红外范围
7、采用光机电高度整合- 体化设计，体积小，操作简便
8、基于薄膜层上界面与下界面的反射光相干涉原理,轻松解析单层薄膜到多层，
9、配置强大核心分析算法: FFT分析厚膜、曲线拟合分析法分析薄膜的物理参数信息
技术参数
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型号 |
TFMS-IW |
TFMS-IV（可选） |
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基本功能 |
获取薄膜厚度值以及R、N/K (可选)等光谱 |
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光谱波长范围 |
380-800nm |
650-1100nm (可选) |
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测量厚度范围 |
50nm-20um |
100nm-200um (可选) |
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测量时间 |
<1° |
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光斑尺寸 |
0. 5-3mm |
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重复精度 |
0. 1nm ( 100nmSi02/Si) |
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绝对精度 |
土1nm or 0. 5% |
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入射角方式 |
垂直入射 |
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可选配件
1、温控台
2、Mapping扩展模块
3、真空泵
0
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