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小型二通道混气系统

产品型号:SL-2Z-LCD-S
产品品牌:上海升利
产品概述:
SL-2Z-LCD-S是一款小型的两通道质子流量计混气系统,PLC触摸屏控制各通道气路流量,并可实时查看流量数据及曲线,可与本公司各种管式炉、CVD、PECVD、镀膜仪等设备配套使用,实现PVD、CVD、PECVD以及热处理等实验气氛的精确控制。
产品名称
小型二通道混气系统(质子流量计) GSL- 2Z-LCD-S

基本参数
工作温度: 5~45°C
最大压力:0. 3IMPa
精度:士1.5% FS

重复精度:士0. 2%F. s


流量范围
一路: 1-99SCCM
二路: 1-199 SCCM(.其他流量范围可定制)注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

输入电源
AC 220V, 50/60Hz

功率
100W

PLC触摸屏
各通道的气路设定和查看都集中在一触摸屏 上

混气罐
内置一个不锈钢混气罐,可以良好的混气
有一机械压力表安装于前面板上,与混气罐相连接
量程:-0.1~0.15 MPa

针阀
316不锈钢

通气管道
内部连接管道为1/4”不锈钢管
外部通气管道为1/4”聚四氟管

外形尺寸
360 mmLx300 D mum x 190 H mum

产品重量
8.4kg

质量认证
CE认证

质保期
一年质保,终身维护
0

  李总:138-1739-9656

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