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4英寸气体分散喷头(用于DIY ALD/CVD系统)

产品型号:SH-4
产品品牌:上海升利
产品概述:
SH-4是一款气体分散喷头,了将前驱气体非常均匀地传输到ALD或CVD腔体。此款产品非常适用到大尺寸基片上(最大4英寸),采用CVD法成膜。
产品名称
英气体分散喷头SH4

技术参数
材料:顶部法兰为304不锈钢,底部喷头为铝合金
密封圈:硅胶密封圈
气管接口:外径14mn,内径6 35mm
喷头孔径:中05mm
喷头流道:特殊的流道设计,确保气体/蒸汽均匀的分散和传输

认证
所有电器元件(>24V)都通过UL/MET/CSA/CE认证,若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUv认证或CAS认证。

质保
一年保修,终身技术支持。
特别提示: 1.耗材部分如加热元件;石英管,样品坩埚等不包含在内。
               2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

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  李总:138-1739-9656

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