一、概述

用途：本设备主要用于腔体抽真空

规格：a、结构形式：方管机构；

      B：极限真空度：优于2×10-4Pa

      C：操作方式：手动；

      D：冷却方式：水冷；

      e：总功率：2kw；

      F：输入电压：AC220V±10%

二、操作步骤说明

1.插上外接电源线，放开急停按钮，按下电源启停开关

2.机组启动：a、（全手动）先按下机械泵启动按钮，机械泵开始运行。当真空度优于10pa后，在按下分子泵启动按钮，分子泵开始运行。

B、（半自动）先按下分子泵启动按钮，再按下机械泵启动按钮，机械泵开始运行。待真空度优于10pa后，分子泵会自动启动。

备注: b1.分子泵和机械泵、复合真空计之间有连锁关系，所以分子泵启 动必须具备以下关系才能启动: a:机械泵按钮按下; b:真空度优于10Pa,以上两个条件缺一不可。 b2、 机组运行过程中，真空计电源不能断掉，否则分子泵无法运行

3、机组停止:按下分子泵启停按钮，分子泵开始停止工作，分子泵电源显示屏上显示的转速逐渐降低。当分子泵电源显示屏上的转速变为0后，关闭机械泵按钮。

4、最后关闭电源启停按钮，按下急停按钮

三.安全保护装置及事故处理

安全保护装置:电源安全保护装置;

注意事项:

1. 开机之前确保电源、 冷却水供应正常:

2. 设备运行过程中，经常检查机械泵、分子泵运行是否正常。

设备故障应急处理

1. 如遇设备异常请及时请专业的电气、机械维修人员进行维修;

四.设备保养及维护

真空管道的维护

1. 抽气管道每年应清理一次。

长期停产时的维护和保养

1如果停产， 设备长期不使用也应对设备作必要的维护，

2.抽真空除尽炉体内潮气，然后充入氨气至常压:

3.对电气部件每隔三个月进行一次通电，每次通电一小时左右。

五.设备运输及贮存

运输注意事项

本设备搬运时不得颠倒、侧放或碰撞，以避免损坏设备。

贮存条件、期限及注意事项

1. 用户如暂不使用设备，请不要打开包装箱，应妥善存放在相对湿度不超过90%和通风良好的场所，不得颠倒和侧放，其贮存期应不大于六个月。

2.注:不得露天