设备名称
小型程序控温蒸发镀膜仪-SL- 100X-SPC-2

主要特点
直径6英寸的石英腔体，便于清洁和放入样品。
安装有一 个英的样品台，并且样品台可以旋转，使所制瀟膜更加均匀。样品台和蒸发源之间的距离可以调节
气体流量端口和阀门内置可用于腔室净化和cvD实验。

基本参数
控温方式:手动控温/程序控温
控温精度: +/-1C
腔体真空度: 5*10^-SPa (表压只能显示到1*10^-1Pa). 样品室:石英腔体: 167mmOD. x 152mm Dx 260mm H基片:可装载基片最大尺寸为50mm
输出电压: DC 18V
最大输出电流:≤20A
输入电源: AC220V/50Hz

输入功率: <500w

温控及加热源

采用5型热电偶(工作温度为200C- 1500C) 
可选B型热电偶(工作温度为1200C-1700C)
安装有一个数显的温度控制器:可设置30段升降温程序，控温精度为+/- 1°C 
温度控制器的时间设置以秒为单位,建议将升温/降温速率限制在1200°以下0.39C/s (20°C/ min) ,在1200 - 1500 c限制到0.15"C/s (10"C/min)仪器中配有钨丝篮及氧化铝坩埚

进气口
进气接口为1/4NPS,可向真空腔体中通入惰性气体，对腔体进行清洗,也可通入反应气体，进行反应蒸发镀膜
进气口安装有一针阀，用于调节进气流量

尺寸

L440mmx W330mm x H630mm

重量
40 kg

质保
一年质保期,终生维护
特别提示: 

1. 耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

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