设备名称

真空感应熔炼炉（2020.12.3——升利实验室审核）

感应加热电源

• 工作电压：三相，380V AC 50/60HZ

• 最大输入功率：20KW

• 空气开关：需60A的空气开关

• 保护：自动水压，超温和超功率保护

• 输出频率：30-80KHZ

• 循环比：80%

温度控制器&热电偶

• 工作电压;208~240V AC,单相

• 采用PID方式控温，可设置30段升降温程序

• 设置有超温&断偶保护

• 控温精度：+/- 5 ºC

• 采用C型热偶（进口Ω热电偶），探头伸入到石墨坩埚内

• 连续工作温度: 1000ºC~1700ºC

• 最大升温速率:

• 10ºC/second (1000ºC-1200ºC)
• 8ºC/second (1200ºC~1500ºC)
• 3ºC~6ºC/second (1500ºC~1700ºC)

• 1700℃(恒温时间<10min）

• 1600℃(恒温<1小时)

真空法兰、石英管和防护罩

• 不锈钢法兰上带有高温硅胶O型圈，在法兰上安装两个阀门和真空计

• 一端封闭的石英管：150mm(OD)*142mm(ID)*300mm(L)

• 在法兰上连接KF25接头和KF25的波纹管用于连接真空泵

循环水冷机

• 温度范围：5~30°C

• 水流量：16L/min

• 水箱：不锈钢材质，容积为12L

• 注意：建议使用特定的冷却液以获得最佳性能。在几次加热试验后，等待几分钟冷却属于正常现象。

真空泵

• 标配一个VRD-8的双极旋片机械泵

• 电压：AC 208-240 50hz,单相

• 最大功率：800W

产品尺寸

• 感应加热炉：530mm*220mm*430mm

• 水冷机：590mm*380mm*760mm

• 移动钢框炉架：700mm(L)*1000mm(W)*700mm(H)

（用于放置感应加热器和石英管）

净重

• 60kg

质保期

•一年保修，终身技术支持。

特别提示：

1.耗材部分如炉管，耐火材料，密封圈，石墨坩埚和感应圈等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

注意事项

· 为了保护石墨坩埚和C热电偶，在整个实验过程必须在流动惰性气氛环境中进行。气体流量应限制在< 200SCCM

· C型热电偶是耗材，不在我们的保修范围内

· 在连续的气体流动状态下，所有的气路压力都在0.02MPa以下。石英管内气压超过0.02MPa后，可能对炉膛造成不可逆转的破坏

· 当出气口关闭，炉腔内存在正压状态时，不要加热炉子。在加热过程中，必须使用压力表来密切监测加热腔体内情况，一旦燃烧室压力超过0.02MPa，请立即打开放气阀，以防止不可预见的损坏

· 熔化时间和温度与材料、坩埚、耐火绝缘等有关。如果不知道感应加热器是否能熔化您的样品，请联系我们的工程师咨询

· 石英管内部气压必须<0.02MPa(相对气压）

· 所用气瓶上必须安装减压阀（可在本公司购买）

应用

• 此设备可改为RTP（快速热处理炉）和混合物理化学气相沉积（HPCVD）系统，请点击下面的图片查看，如您有任何特殊需求可联系我们