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双通道ALD管式炉系统

产品型号:ALD-1200X-4
产品品牌:上海升利
产品概述:
ALD-1200X-4是一款4英寸管式炉系统,包含用于原子层沉积的2个ALD进气阀、1个精密液体气相发生器以及用于CVD生长纳米材料和薄膜材料的4通道质子流量计控制系统。该管式炉系统简洁的设计使得更多的科研院所能够在可负担的低成本情况下实现ALD工艺实验。

工作电压&功率

AC220V 单相 50/60Hz  100W


PLC触摸屏

通过6"PLC触摸屏对ALD蒸汽脉冲时间、气体流量等参数进行设定控制
可控制2个ALD阀门的脉冲时间以及循环次数(毫秒级)
可控制4通道的气体流量( 4通道质子流量计,精度+0.2%F.S )
真空压力显示
RS485通讯接口和PC软件可以连接到电脑上,进行远程控制


ALD进气阀

对于两种前驱体气体的沉积,需2个ALD进气阀进行控制(不包含在设备中)
客户可使用自己己有的ALD阀

流量控制
四通道质子流量计控制系统可用于4路气体的通入和混合流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意:其他流量范围的可定制,需额外费用
工作温度: 5~459C耐压:3MPa
精度: +1.5% FS线性: +1%F.S.重复精度: +0.2%F.S.


通气管道
内置不锈钢混气罐
内部连接管道为1/4"不锈钢管

外部通气管道为1/4"聚四氟管

混气罐
φ80X120mm

截止阀及配件
316不锈钢针阀中1/4” 不锈钢管

尺寸
600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

质量认证
CE认证

质保期
一年保质期, 终生维护

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  李总:138-1739-9656

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