工作电压&功率

AC220V 单相 50/60Hz  100W

PLC触摸屏

通过6"PLC触摸屏对ALD蒸汽脉冲时间、气体流量等参数进行设定控制
可控制2个ALD阀门的脉冲时间以及循环次数(毫秒级)
可控制4通道的气体流量( 4通道质子流量计,精度+0.2%F.S )
真空压力显示
RS485通讯接口和PC软件可以连接到电脑上,进行远程控制

ALD进气阀

对于两种前驱体气体的沉积,需2个ALD进气阀进行控制(不包含在设备中)
客户可使用自己己有的ALD阀

流量控制
四通道质子流量计控制系统可用于4路气体的通入和混合流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意:其他流量范围的可定制,需额外费用
工作温度: 5~459C耐压:3MPa
精度: +1.5% FS线性: +1%F.S.重复精度: +0.2%F.S.

通气管道
内置不锈钢混气罐
内部连接管道为1/4"不锈钢管

外部通气管道为1/4"聚四氟管

混气罐
φ80X120mm

截止阀及配件
316不锈钢针阀中1/4” 不锈钢管

尺寸
600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

质量认证
CE认证

质保期
一年保质期， 终生维护