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1200℃双管滑动式四通道混气CVD系统

产品型号:
产品品牌:升利仪器
产品概述:
双管炉是 一个特殊的双管CVD系统,是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究。通过滑动炉子实现快速加热和冷却。请点击下图观看炉子的工作原理。

炉体结构

高纯AI2O3保温材料,保证了炉膛有极好的温度均匀性.

内炉瞠表面涂有美国进口的1760度高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命
炉子底部的冷却风扇保证了热量正常对外释放.
密封法兰系统全不锈钢制作。

电源
电源:208-240VAC, 50/60Hz, 单相,2.5KW ( 20A保险丝)


加热温度

最高温度:1100°C .
连续温度: 1000°C

加热区
加热区长度: 440mm


加热和冷却速度

最快的加热和冷却速度跟工作温度有关,请点击下图可以看出最快的加热和冷却速度随温度的变化而变化。(在使用炉子之前,要校准工作温度和加热、冷却速度)

石英管
外管0D100xID96x1400,mm
内管:0D80xID75x1800mm


真空法兰

一对SS304不锈钢法兰,通过用两个高温"O型圈紧密密封可获得高真空。
炉子底部装有- -对滑轨
炉子可以手动从一端滑向另一 端,实现快速的加热和冷却。
为了得到较快的加热速度,可以先将炉子预热,然后滑到放置样品的位置。

为了获得较快的冷却的速度,把炉子滑向另一端, 同时将冷却气体通入样品所在的位置。


温控仪

温控仪:带超温保护和PID调节的30段程序控制。
控温精度: +/-19C

混气系统
4路精密质子流量计:数字显示、气体流量自动控制

MFC 1范围: 0~100 sccm
MFC 2范围: 0~200 sccm
MFC 3范围: 0~200 sccm
MFC 4范围: 0~500 sccm
气路: 4路
流量精度: 0.2%
进气和出气接口: 1/4"卡套
一个混气罐.
每路气路都有- -个独立的不锈钢针阀控制。
通过控制面板上的旋钮来调节气体流量.

真空泵
安装在移动架底部的机械泵,真空度达10-3 Torr.
真空泵与手动挡板阀之间用KF25快接与不锈钢波纹管连接
数字真空表安装在一端的法兰.上.
选择:可以配分子泵,真空度达10-5 Torr
生长石墨烯的铜箔(150m length x 150mm width x 25um thickness)
作为基片用的25um厚的铜箔(选配)

尺寸( mm)
炉体:550x380x520
移动架: 600x600x597


重量

300lb


认证

CE认证

0

  李总:138-1739-9656

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