等离子源

等离子体射频电源: 110V 或220VAC, 50/60 Hz, < 100W

输出频率: 13.56 MHz
三档射频功率大小: 7.2W. 10.5W和18W (可调节)
腔体尺寸: 3"0Dx2.7"IDx16"L
仪器中带有一套不锈 钢密封法兰使得腔体内部的真空度为10^-2 torr (用机械泵)

滑动法兰
有一滑轨法兰安装于移动架上,以便于样品的放入和取出。
样品可以放入加热线圈内，以达到更好的加热效率和温度的均匀性。
加热圈尺寸: 50mm OD x 40mm ID x 70mm,可使样品达到的温度为400C

加热圈上套有一 2" ID x 75mm L的石英罩,以减小热量损失

加热圈和温控系统

温控方面:采用PID方式调节温度，同时可设置30段升降温程序，控温精度为: +/-19C输入电源: AC 220V

两通道混气系统
混气箱_上安装有两个浮子流量计，其量程为10-1005CCM●三个机械压力表: -0.1-0.15 MPa,
混气箱上安装有304不锈钢针阀
配有三根1/4"的聚四氟乙烯管

混气箱尺寸: 340Lx300Dx 180H mm ( 13.4"x12"x7").净重: 14 1bs.

真空和气体接口

标准的真空配置有
一套3°的不锈钢法兰(上面安装有KF-25的真空泵接口，- - -个1/4"卡套接头和不锈钢针阀)●一根KF25的波纹管(长度为1m)和三KF25卡箍
一个数字式真空显示计
等离子腔体中可以通入多种惰性性气体，如N2, Ar, Air，以及各种混合性气体。
可以调整腔体内的压力或是进气流量，确保等离子体达到样品处
(注意:不可通入易燃易爆性气体)

真空泵
仪器中配有一双旋机械真空泵， 其抽气速率为120L/min,
进气口为KF25接口，可以使腔体内真空度小于30mTorr

移动架
设备中配有- 600L x 600W x 600H ( mm)的移动架,整个CVD系统可以安置于其上面
等离子源: 8.5"Hx10"Wx8" D●温控盒: 4"Hx 10"Wx8"D

仪器尺寸
移动架: 600 x 600 x 600mm

重量
70lb

质保期
一年质保期(不包含石英管和密封圈)

质量认证
CE认证

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