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1700°C二通道混气高真空CVD系统

产品型号:SL-1700X-HVC
产品品牌:上海升利
产品概述:
OTF-1200X-4-III-9HV是由OTF-1200X-III三温区管式炉,九路质子混气系统和高真空机组组成。其最高工作温度可达1200℃,极限真空度可达 10-5 torr。混气系统可以对两种气体进行精确的混气,然后导入到管式炉内部。

主要特点

高熔点物质能够在低温下合成

可生长单晶、多晶、晶须、粉末、薄膜等多种物质
不仅可以在基片上进行生长,还可以在粉体表面生长
双层壳体结构,便带有风冷系统,使得壳体表面温度小于55度
内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命三个温区,可以独立控温


基本参数

一、加热炉
温度: 1100C (1200C<1h)

总温区长度:
880mm(220mm+440mm+220m)

升温速率:≤10C/min
” 三个精密温度控制器分别控制三个温区

恒温精度:土1C
热偶:型热偶

电源: AC208-240 50/60Hz
功率:最大7KW

二、供气系统

产品

二通道

三通道

四通道

五通道

九通道

工作温度

5-45

5-45

5-45

5-45

5-45

最大压力

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

精度

1.5% FS

1.5% FS

1.5% FS

1.5% FS

1.5% FS

重复精度

0. 2%FS

0. 2%FS

0. 2%FS

0. 2%FS

0. 2%FS

流量范围

一路: 1~199 SCCM

二路: 1~199 SCCM

一路: 0~100 SCCM

二路: 1~199 SCCM

三路: 1~499 SCCM

一路:0~100 SCCM 

二路: 1~199 SCCM

三路: 1~199 SCCM

四路: 1~499 SCCM

一路:0~100 SCCM 

二路: 1~199 SCCM

三路: 1~199 SCCM

四路: 1~499 SCCM

五路: 1~499 SCCM

三路: 0~100 SCCM

三路: 1~199 SCCM

三路: 10~1000 SCCM

注意

其他流量范围的可定制(0~100 1~2001^500 1^10001200015000SCCM),需额外费用)

五九路可按照客户要求定制


PID自动控温系统

掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层,可以极大程度延长使用寿命)
包含- 款YD518P型温度控制器
智能化30段可编程控制
默认DB9 PC通信连接端口
通过ET认证

加热元件和温控系
可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据。

炉体结构和炉管尺
采用双层壳体结构,并带有风冷系统
高纯氧化铝纤维作为炉膛材料(表面涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率延长炉膛使用寿命)
高纯石英管


尺寸
尺寸:外径:100x长:1000m
加热炉外形尺寸: 1000 Lx430 Wx 700Hm
供气系统外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), m
高真空机组外形尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), m

重量
加热炉约45Kg
供气系统约36Kg真空机组约60Kg


认证
 所有电器元件(>24V)都通过UL/MET/CE认证, 若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国Tv认证或CAS认证。

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  李总:138-1739-9656

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