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1700°C九通道混气高真空CVD系统

产品型号:SL-1700X-HVC9
产品品牌:上海升利
产品概述:
SL1700X-HCV9是CE认证的80mm直径的氧化铝管炉与真空泵系统(高达10-5托)和9通道精密数字质量流量计,可以控制9种气体的CVD或扩散,工作到1700℃。

主要特点

高熔点物质能够在低温下合成

可生长单晶、多晶、晶须、粉末、薄膜等多种物质
不仅可以在基片上进行生长,还可以在粉体表面生长
双层壳体结构,便带有风冷系统,使得壳体表面温度小于55度
内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命三个温区,可以独立控温


基本参数

一、加热炉
温度: 1100C (1200C<1h)

总温区长度:
880mm(220mm+440mm+220m)

升温速率:≤10C/min
” 三个精密温度控制器分别控制三个温区

恒温精度:土1C
热偶:型热偶

电源: AC208-240 50/60Hz
功率:最大7KW
0

  李总:138-1739-9656

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