- 技术参数
Technical parameters
- 实验案例
Experimental cases
- 应用提示
Application Tips
- 配件详情
Accessory Details
主要特点
高熔点物质能够在低温下合成
可生长单晶、多晶、晶须、粉末、薄膜等多种物质不仅可以在基片上进行生长，还可以在粉体表面生长
双层壳体结构，便带有风冷系统，使得壳体表面温度小于55度
内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命三个温区，可以独立控温
基本参数
一、加热炉温度: 1100C (1200C<1h)
总温区长度:
880mm(220mm+440mm+220m)
升温速率:≤10C/min
” 三个精密温度控制器分别控制三个温区
恒温精度:土1C
热偶:型热偶
电源: AC208-240 50/60Hz
功率:最大7KW
二、供气系统
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产品 |
二通道 |
三通道 |
四通道 |
五通道 |
九通道 |
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工作温度 |
5-45℃ |
5-45℃ |
5-45℃ |
5-45℃ |
5-45℃ |
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最大压力 |
3*10^6 Pa |
3*10^6 Pa |
3*10^6 Pa |
3*10^6 Pa |
3*10^6 Pa |
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精度 |
士1.5% FS |
士1.5% FS |
士1.5% FS |
士1.5% FS |
士1.5% FS |
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重复精度 |
士0. 2%FS |
士0. 2%FS |
士0. 2%FS |
士0. 2%FS |
士0. 2%FS |
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流量范围 |
一路: 1~199 SCCM 二路: 1~199 SCCM |
一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~499 SCCM |
一路:0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM
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一路:0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM 五路: 1~499 SCCM
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三路: 0~100 SCCM 三路: 1~199 SCCM 三路: 10~1000 SCCM |
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注意 |
其他流量范围的可定制(0~100、 1~200、1^500 、1^1000、12000、15000SCCM)，需额外费用） |
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五九路可按照客户要求定制 |
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PID自动控温系统
掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层,可以极大程度延长使用寿命)
智能化30段可编程控制
默认DB9 PC通信连接端口
加热元件和温控系统
可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据。
炉体结构和炉管尺寸
采用双层壳体结构，并带有风冷系统
高纯氧化铝纤维作为炉膛材料(表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率延长炉膛使用寿命)
高纯石英管
尺寸
尺寸:外径:100x长:1000m
加热炉外形尺寸: 1000 Lx430 Wx 700Hm
供气系统外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H)， m
高真空机组外形尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H)， m
重量
加热炉约45Kg
供气系统约36Kg真空机组约60Kg
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