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1700℃三温区三通道混气CVD系统

产品型号：SL-1700X-III-F3LV

产品品牌：升利仪器

产品概述：

三温区管式炉CVD系统，其炉管直径为60mm,其真空泵采用双旋机械泵，混气系统为3路浮子混气系统。此高温炉烧结温度可达1700℃，真空度可达到5x10-2 torr ，可以混合1-3种气体。

炉体结构

炉膛材料采用高纯氧化铝纤维，最大程度减少能量损失

内炉瞠表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命
三个温区分别被三个独立的温控系统控制

功率
9 KW(需要75A的空气开关)

电压
AC 208-240V单相, 50/60 Hz

加热区

总加热区长度: 25" (630 mm)

加热温区1长度: 7.5" (190 mm) 1400° C通过4根硅碳棒加热,最高温度可达1400C

升温速率: 10° C/min

加热温区2长度: 10”(250 mm)1700° C通6根硅钼棒加热，最高温度可达1700C
最快升温速率:5° C/min

炉管和法兰尺寸

加热温区3长度: 7.5" (190 mm) 1400° C通过4根硅碳棒加热，最高温度可达1400C最大升温速率: 10° C/min
99.8%高纯刚玉管purity Alumina Tube
(标配尺寸) ( 60mm) 0.Dx ID. (50mm) x 1200mm)L

(选配尺寸) ( 80mm) 0.Dx ID. (70mm) x 1200mm L

一对60mm的不锈钢密封法兰，法兰上已安装阀i ]和仪表仪器中包括4个氧化铝管堵

温控系统
3个温控系统，都是PID30段程序化控温

控温精确度
±1° C

低真空系统

采用双旋机械泵，其针对于本公司的管式炉，真空度可达到10-2 Torr.
个KF25的不锈钢波纹管已安装在真空系统上，其尺寸为25mm Dia x 100mm length, 可于管式炉上的法兰相连接

防腐型数字真空计

可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5至1125 Torr.不需因测量气体种类不同而需要系数转换