SL-CVD 管式炉

炉体结构

采用双层壳体并带有风冷系统
炉底安装一对滑轨，可滑动

炉管尺寸
氧化铝涂层可以提高设备的滑动内炉膛表面涂有美国进口的直寿命的加热效率，同时也可以延长仅露的痛温

功率
φ25X 100m

输入电压
1. 2kW

加热元件
220VAC单相50/60Hz

最高温度.
C27A7MIN2 (掺钼铁铬铝合金)

升温速率
最高1200额定温度100

加热区长度
≌10C/min (推荐)
●两个加热区的长度都是100mm

控温精度
●分别由独立的温控系统控制土1C

快速连接法兰
KF25不锈钢真空法兰

打开法兰直接卸下卡箍即可，取放样品方便

另配备有可调节高度的法兰支架

真空系统

壳体尺寸最大承载量.
6(2)x 600 (Wx 70(0m_m

抽气速率
1000Lbs  3L/s
极限真空度: 10~Pa

电压
双层立式油污过滤器PB材质)与真空泵连接

功率
220VAC单相50/60Hz

550/400 (单相/三相)

三路质子流量控制系统(多路质子流量器）

针阀材质
316不锈钢

工作温度
5~45C

外型尺寸
600(L)x 600(W)x 700(H) mm

电压
AC220V/50Hz单相

功率
23W

质保期
一年质保期 ,相关耗材除外,如炉管,密封圈加热元件等易耗件


使用注意事项
炉管内气压不可高于0.02MPa
由于气瓶内部气,压较高,所以向炉管内通入气体时，气瓶_上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa.使用时会更加精确安全
当炉体温度高于1000°C时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
石英管的长时间使用温度< 100C
对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生(如炉管破裂，法兰飞出等)

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