主要技术指标

1、  结构：卧式，前开门；

2、  控制方式：触摸屏(昆仑通泰)+ PLC全自动控制（西门子）；

3、  炉壳材料：内层304不锈钢；

4、  真空泵：分子泵＋机械泵；

5、  有效使用空间：宽 300 x 高 300 x 深400 mm；

6、 温度：工作温度1300℃， 最高温度:1350℃

7、 控制精度：±1℃；

8、 加热器：材料高温钼，圆周加热(一个控温热电偶，一个测温热电偶)；

9、 真空度： 冷态极限：优于5x 10^-4Pa（空炉，洁净）， 工作优于5x 10^-3Pa

10、  压升率：< 0.67Pa/h；

11、  升温速率：0-15℃ /min可控；

12、  料台承重：50Kg(不含托盘)。

13、  温度均匀性：±7℃

14、电源要求： 3相5线制， 380V   50Hz；

15、总功率：约40kW；

16、水质要求：PH值：7-9

17、压缩空气：干燥无水，气压0.8-1MP

    炉体由炉壳、炉门、热屏蔽层、加热器等组成。

炉壳由筒体与法兰焊接组成，双层壳体焊接冷却水套，炉门为封头与法兰焊接，为方便清洁及放料，采用前炉门侧开门机构，材料为内层优质不锈钢。炉体经严格的焊接工艺外表喷漆处理；密封圈全部采用优质的氟橡胶圈密封。

热屏蔽层为3层钼与4层不锈钢结合体(按现场)。工件立柱采用钼合金材料，不仅强度高，抗变形，并且透光率高。

加热器包括电极与加热元件、温度测量。加热器为带状结构，材料为高温钼作为发热元件。配有一根热电偶温控仪控温使用。另配一根备用热电偶作为工艺测量用。

特别注意：

1：分子泵启动前必须先用真空泵将炉内压力抽至10pa以下，并打开挡板阀、下蝶阀，真空泵持续开不能断。

2：分子泵停止时，待分子泵完全停止后才可关闭阀门，真空泵。

①、运行前检查事项：

A、打开冷水机，检查运行是否正常，水是否充足，务必保证全程不断水。

B、打开设备电流，检查是都有报警，各显示是否正常。

C、检查各气管连接是否正常。

D、手动泄压阀是否拧紧。

E、炉门是否锁紧

F、真空泵油是否处于正常液面。

G、运行时特别注意，进气压力不得 超过1个大气压，炉内压力不得超过20kpa。

H、手动进气排气是否顺畅。

I、设备运行中，若排气压力＞上限压力  排气阀已打开，炉内压力还持续上升，立即打开手动泄压阀，并调小进气量。

②、自动运行相关操作及事项

控制面板说明：

A、真空烧成

1.     操作画面选择真空烧成，关闭压控仪外控开关。

2.     参数设置画面，设置相关参数，即开加热真空度、冷却结束温度、上限压力。

3.     工艺设置画面，设置升温曲线（最后结束语必须是-121）升温速率建议5℃/min左右

4.     点击操作画面→点击自动控制→点击自动运行启动即可运行。

5.     待电离规抽至6.7E^-3以后，可设置压控气压，并在触摸屏控制界面，点击外控仪控制开关，即可对炉膛释压，达到设定气压。

6.     运行时加热观察三相电流是否均衡

7.     建议100℃以下开炉门

注意事项：

1.   每次运行前检查电阻硅值是否大于9.0EO(9pa）

2.   当电离规压力超过开加热真空度未加热时，轻微打开手动泄压阀或打开压控仪外控开关（大于开加热真空度）等电离规大于开加热真空度时立即关闭，重新触发加热程序

B、保压烧结（进气压力＜排气压力）

1、操作画面选择：边进边排，关闭压控仪表外控开关。

2、参数画面设置相关参数，即进气压力、排气压力、洗炉膛设定压力值、排气次数、上限压力、冷却结束温度。

3、工艺设置画面：设置升温曲线。建议升温速率为5℃/min

4、打开所用气体阀门，其流速不超过3ml/s，尽量调小一点。

5、点击操作画面→点击自动控制→点击自动流动运行

6、注意观察气压、电流表

C、边进边排（进气压力=排气压力）

1、  操作画面选择：边进边排，关闭压控仪表外控开关。

2、参数画面设置相关参数，即进气压力、排气压力、洗炉膛设定压力值、排气次数、上限压力、冷却结束温度。

3、工艺设置画面：设置升温曲线。建议升温速率为5℃/min

4、打开所用气体阀门，其流速不超过3ml/s，尽量调小一点。

5、点击操作画面→点击自动控制→点击自动流动运行

6、注意观察气压、电流表

 二， 升温、恒温、降温曲线图：